隨著電子產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域日益擴(kuò)大,半導(dǎo)體對(duì)我國(guó)發(fā)展具有重要的意義。半導(dǎo)體涉及行業(yè)廣泛,根據(jù)生產(chǎn)原料及工序的不同,產(chǎn)生廢水的廢水性質(zhì)也不同,但都存在著排水量大,污染能力強(qiáng)的特點(diǎn),嚴(yán)重危害生態(tài)環(huán)境健康的同時(shí)也制約其發(fā)展。
根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水污染物的特點(diǎn),可將半導(dǎo)體廢水分為三類,主要來源于生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟廢水、有機(jī)廢水及金屬離子廢水,詳細(xì)介紹如下:
1、含氟廢水,廢水主要來自于半導(dǎo)體生產(chǎn)工序的刻蝕段,由于使用了大量的氫氟酸、氟化銨等試劑,產(chǎn)生的污染如氟化物、氨氮等濃度較高,廢水一般呈強(qiáng)酸性;
2、有機(jī)廢水,其污染物質(zhì)主要是一些常規(guī)污染物,生產(chǎn)濃度跟生產(chǎn)工藝及操作管理水平關(guān)系較大,COD一般在200~3000mg/L;
金屬離子廢水,半導(dǎo)體廢水中的金屬離子種類眾多,主要如銅、鎳、錫、鉛、銀等,濃度一般在幾十mg/L。
高濃度的含氟廢水處理難度大,一般的化學(xué)沉淀法難以徹底去除水中的氟離子,在排放要求高的時(shí)候,應(yīng)對(duì)其采用多種組合工藝處理。
半導(dǎo)體有機(jī)廢水濃度不會(huì)太高,但不同企業(yè)的水質(zhì)變化大,其進(jìn)水水質(zhì)需根據(jù)化驗(yàn)監(jiān)測(cè)結(jié)果來確定。
對(duì)于不同種類的高濃度金屬離子廢水,應(yīng)該分開收集進(jìn)行處理,若廢水中含金屬離子種類較多,工藝流程會(huì)較長(zhǎng)。
含氟廢水一般采用化學(xué)沉淀法,投加鈣鹽與水中的氟離子形成CaF2,再加以混凝劑輔助即可去除水中的氟離子。出水要求高時(shí),可與生化法、吸附法等聯(lián)合運(yùn)用。
有機(jī)廢水一般采用經(jīng)濟(jì)高效的生化法,如單獨(dú)的好氧法或與缺氧法、厭氧法組合工藝,對(duì)于廢水中COD、氨氮、總氮等常規(guī)污染物去除效果非??捎^。
金屬離子廢水則需針對(duì)不同廢水不同種類進(jìn)行選擇,常用的有化學(xué)沉淀法、吸附法、離子交換法等。
半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)需水甚多,用水要求不高,一般建議將廢水做回用處理,以節(jié)約生產(chǎn)成本。具體可見我司零排放及中水回用單元。